微（wēi）信掃一掃 關注国产精品无码av片在线观看播最新動（dòng）態！等離（lí）子（zǐ）（plasma）是除固體、液體、氣體之（zhī）外的第四種物質狀態，主要是由氣體在高電磁場作用下發（fā）生解離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶（dài）正電），自由基和中性氣體分子組成的高活性物質，通產情況下會發光。
一般情況下，等離子中的（de）正電（diàn）荷（hé）數等於負（fù）電（diàn）荷（hé）數，所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中見到的閃電、日（rì）光燈、霓虹（hóng）燈就是等離子體發光現象（xiàng）。
等離子（zǐ）的產生有很多（duō）種方法，但生成（chéng）和維（wéi）持都需要外（wài）部能量的輸入。
電子從外加電（diàn）磁場獲得（dé）能量，然後發生非彈性碰撞（zhuàng）產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離（lí）子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質（zhì），然而在解離碰撞中，電子可（kě）能與（yǔ）氣體離子有再結合作用，或者因為漂移及（jí）擴（kuò）散而離開電磁場範圍等原因（yīn）消失，因此當電子產生與消失的速率相等時，此（cǐ）時的plasma即為穩定（dìng）狀（zhuàng）態。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均（jun1）自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與（yǔ）粒子碰撞前能（néng）夠移動的平均距離。MFP與環境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要在低壓近似真空（kōng）環境下產生，因（yīn）為在大氣壓力下（760Torr），電子的（de）MFP很短，很難（nán）獲得足夠的能力來使用氣體（tǐ）離子化。