最直接的鍍膜控製方法是石英晶體微量平衡法(QCM)，這種儀器可以（yǐ）直接驅動蒸發源，通過PID控（kòng）製循（xún）環驅動（dòng）擋板，保持蒸發速率。隻（zhī）要將儀器與係（xì）統控製軟件相（xiàng）連接，它就（jiù）可以控製整個的鍍膜過程（chéng）。但是(QCM)的精確度是有限的，部分原因是由於它監控的是（shì）被鍍（dù）膜（mó）的質量而不是其光學厚度。
    此外雖（suī）然QCM在較低溫度下（xià）非常穩定，但溫度較高時，它會變得對（duì）溫度非常敏（mǐn）感。在長時間的加熱（rè）過程中，很難阻止傳感器跌入這（zhè）個敏感區（qū）域，從而對膜層（céng）造成重大誤差。
    光（guāng）學監控是高精密鍍膜的的首選監控方式，這是因為（wéi）它可以更精確地控製膜層厚度(如果運用得當)。精（jīng）確度的改進源於很多因素,但最（zuì）根本的原（yuán）因是對光學厚（hòu）度的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光（guāng）學監（jiān）控係統，是采（cǎi）用間接測控，結合汪（wāng）博士開發的先（xiān）進光學監控軟件，有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏（mǐn）度的理論和方法來減少終極誤差，提（tí）供了反饋或傳輸的選（xuǎn）擇（zé）模式和大範圍的（de）監測波長。特別適合於各種（zhǒng）膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。

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