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磁控濺射膜厚均勻性設計(jì)方(fāng)法

作者: 來源: 日期:2020-11-09 10:56:38 人氣:22333

磁控濺射鍍膜是現代工業中不可缺少的技術(shù)之一,磁控濺射鍍膜技術正(zhèng)廣泛應用於透明導電膜(mó)、光(guāng)學膜、超(chāo)硬膜、

抗腐蝕膜(mó)、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,在國防(fáng)和(hé)國民經濟生產中的作用和地(dì)位日益強(qiáng)大。


鍍膜工藝中的薄(báo)膜厚度均勻性,沉積速率,靶材利用率等方麵的問題是實(shí)際生產中(zhōng)十分(fèn)關注的。
解決這(zhè)些實際問題的方法是對(duì)涉及濺射沉積過程的全部因(yīn)素進行整體的優化設(shè)計,建立一個濺射鍍(dù)膜的綜合設計(jì)係統。
薄膜厚度均勻(yún)性是檢驗(yàn)濺射(shè)沉積過程的最重要參數之一,因此(cǐ)對膜厚(hòu)均勻性綜合設計(jì)的研究具(jù)有重要的理論和應用價值。

磁控濺射技術發展(zhǎn)過程中各項(xiàng)技術的突破一般集(jí)中在等離子體的產生以(yǐ)及對等離子體進行的控製等方麵。

通過對(duì)電磁場、溫度場和空間(jiān)不同種類粒子分布參數的控製,使膜層質量和屬性滿(mǎn)足各行業的要求。


膜厚均(jun1)勻性與(yǔ)磁控濺射(shè)靶(bǎ)的工作狀態(tài)息息相關,如靶的刻蝕狀態,靶的(de)電(diàn)磁場設計等,

因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製備公司或(huò)鍍膜設(shè)備製造公司都有各自的(de)關於鍍膜設備(包括核心部件“靶”)的整套設計方案。

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