低真空的獲（huò）得  

獲得低真空常采用機械泵，機械泵是運用機械（xiè）方法不斷地改變泵內吸氣空腔的體（tǐ）積，使被抽容器內氣（qì）體的體積不斷膨脹（zhàng），從而獲得真空的裝置（zhì）。

它可以直接在大氣壓下開始工作，極限真空度一般（bān）為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉（zhuǎn）速及空腔體積V的大小（xiǎo）有關，一般在每秒幾升到每（měi）秒（miǎo）幾十升之間（jiān）。

高真空的獲得 

目前，廣泛（fàn）使用的獲得高真空的泵就（jiù）是擴散泵。擴散泵是利用氣體擴（kuò）散現象來抽氣的，它不能直接（jiē）在（zài）大氣壓下工作，而（ér）需（xū）要一定的預（yù）備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴（kuò）散泵的極限（xiàn）真空度主要取決（jué）於油蒸汽（qì）壓和氣體分子的反擴散（sàn），一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與（yǔ）結（jié）構相關，每秒幾升（shēng）--幾百升不等。