真空鍍膜技術是真空應用技術的一個(gè)重要分支,它已廣泛地應用於光學、電子學(xué)、能源開發,理化儀(yí)器、建築機械、包裝、民用製品、表麵科(kē)學以(yǐ)及科學研究(jiū)等領域中。真空鍍膜(mó)所采用的(de)方法主要(yào)有蒸發鍍(dù)、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相沉積法。如果從真(zhēn)空鍍膜的目(mù)的是為了改變物質表麵的物理、化學性能的話,這一技術(shù)又是真空表麵處理技術中的重要組成部分,其分類如表 6 所示。現就其幾個主要應用方麵做一(yī)簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光(guāng)學玻璃或石英表麵上鍍(dù)一層(céng)或幾(jǐ)層不同物質的薄膜後,即(jí)可成為高反(fǎn)射或(huò)無反射(即增透膜)或者作任何預期比(bǐ)例的反射或透射材料,也可以作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的透射的濾(lǜ)色片。高反射膜從大口徑的天文望(wàng)遠鏡和各種(zhǒng)激光器開(kāi)始、一直到新型建築物的大窗鍍膜茉莉,都很需要。增(zēng)透膜則大量用於照相和各種激光器開始(shǐ)、一直到新型(xíng)建築物的大(dà)窗鍍膜玻璃,都很需要。增透(tòu)膜(mó)則大量用於照(zhào)相機和電視攝象機的鏡頭上。
在電子學(xué)方麵真空鍍(dù)膜更占有極為重要(yào)的地位。各種規模的繼承電路。包括存貯器、運算器、告訴邏輯元件等都要采用導電膜、絕緣膜和保護膜(mó)。作為製備電路的(de)掩膜(mó)則用到鉻膜。磁(cí)帶、磁盤、半導體激光器,約瑟夫遜器件、電荷(hé)耦(ǒu)合器件( CCD )也(yě)都(dōu)甬道各種薄膜(mó)。
在顯示器件方麵,錄象(xiàng)磁頭(tóu)、高密度錄象帶以及平麵顯示(shì)裝置的透明導電膜、攝像管光導膜、顯(xiǎn)示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜法製備。在元件(jiàn)方麵,在真空(kōng)中蒸發鎳鉻(gè),鉻或金(jīn)屬陶瓷可以製造電阻,在塑料上蒸發鋁、一氧化矽、二氧化鈦等可以(yǐ)製造電容器,蒸發硒可以得(dé)到靜電複印機用的硒鼓、蒸發鈦酸鋇可以製造磁致伸縮的起(qǐ)聲元件(jiàn)等等。真空蒸發(fā)還可以用於製造超(chāo)導膜和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鍾表外殼表麵、紡織品金屬花紋(wén)、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用(yòng)薄(báo)膜,以及采用濺射(shè)鍍(dù)或離子鍍(dù)對刀(dāo)具、模具等製造(zào)超硬膜。近兩年內所興起的多弧離子鍍製備鈦金製品,如不鏽鋼薄板(bǎn)、鏡麵板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄(lán)杆等目前正在盛行。