如(rú)何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2735
如何掌控真空鍍膜的均(jun1)勻性
我們先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試(shì)鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調試鍍(dù)膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與各真空(kōng)泵的(de)性能;
2、測試設備的(de)密封(fēng)性能,就是抽到極限後保壓1小時(shí)看(kàn)壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作(zuò),檢(jiǎn)驗(yàn)其他的性能,比如傳動、加熱、絕(jué)緣等等;
4、如果有工藝保證的話(huà)就(jiù)繼續打樣並作測試。
5、所有的測(cè)試應作記錄(lù),並有記錄人(rén)簽字以及有使用部門或(huò)工程部門的人確認簽字
怎麽掌控真空鍍膜的均勻性?
由於車(chē)燈鍍膜機(jī)原(yuán)理的不同分為很多(duō)種類,僅僅因(yīn)為都需要高(gāo)真空度而擁有統一名稱。所以(yǐ)對於不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也(yě)不盡相同。並且均勻性這個概念本身也(yě)會隨著鍍膜尺度(dù)和薄(báo)膜成分而有著不同的意義(yì),下麵分別說一下:
均勻性主要體現在3方(fāng)麵:
1、厚度上的均(jun1)勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄(báo)膜的尺度上看(也就是1/10波(bō)長作為單(dān)位,約為100A),真空鍍(dù)膜(mó)的(de)均勻性(xìng)已經相當好,可以(yǐ)輕鬆將粗糙度控製在(zài)可見光波長的1/10範圍內(nèi),也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子(zǐ)層尺度上的均(jun1)勻度,也就是(shì)說要實(shí)現10A甚至1A的表(biǎo)麵平整,是現在真空鍍膜中(zhōng)主要的(de)技術含量與技術瓶(píng)頸(jǐng)所在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合物的原子組分會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不科學,那(nà)麽實際表(biǎo)麵(miàn)的組分並不是(shì)SiTiO3,而可能是其他的比(bǐ)例,鍍的膜(mó)並非是想要的膜(mó)的化學成分,這也是(shì)真(zhēn)空(kōng)鍍膜的技(jì)術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單(dān)晶,多晶,非晶,是真空(kōng)鍍膜技(jì)術中的熱點問題。
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