CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:83719
CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍(dù)膜機的(de)磁控濺射工(gōng)作原理,所謂“濺射”就是(shì)用荷能粒(lì)子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起(qǐ)物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發(fā)現了這種(zhǒng)現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電(diàn)場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具(jù)有足夠的能量(約為30ev)時,則電(diàn)離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在(zài)電(diàn)場作用下,加速飛向陰極(濺(jiàn)射靶(bǎ))並以(yǐ)高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工(gōng)藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及(jí)儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電膜等(děng)領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的(de)鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度(dù)均勻(yún)的膜層;
2)、薄膜與基片的附著(zhe)力強。部分高能量的濺(jiàn)射原子產生不同程度的注入現象,在基片(piàn)上形成一層濺射原子與基片原子相互溶合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜,可以使用不同(tóng)的材料(liào)同時濺射製備混合(hé)膜、化合膜,還(hái)可濺射成TiN仿金(jīn)膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不(bú)會(huì)混入坩鍋加(jiā)熱器材(cái)料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無(wú)需加熱直接常(cháng)溫冷鍍成(chéng)膜,節能省電(diàn),提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機 | | | | | |
型(xíng)號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) |
鍍膜係統 | 直流或中頻電(diàn)源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣(qì)係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質(zhì)量流量(liàng)計(jì) | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動(dòng)或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |