超大(dà)型板材管材(cái)真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人氣:25098
超(chāo)大型板材管(guǎn)材(cái)真空鍍膜機

工作原理(lǐ)

離子鍍是真空室中,利用氣體放電或被蒸發物質部分離化,在氣體(tǐ)離子或被蒸發物質粒子轟擊作(zuò)用的同時,將蒸發(fā)物或反應物沉積在基片上。離子(zǐ)鍍把輝(huī)光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質(zhì)量,而且還擴大(dà)了薄膜的應用(yòng)範圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般(bān)的離子鍍有著很大(dà)的(de)區別。多(duō)弧離子鍍采用(yòng)的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放(fàng)電(diàn)進行沉積。簡單的說,多弧離子(zǐ)鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽(yáng)極殼體之間的弧光放電,使靶材蒸發,從(cóng)而在空間中形成等離子體,對基體進行沉積。

應用範圍

可以鍍製不鏽鋼(gāng)、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也(yě)可鍍製合金膜或(huò)化(huà)合物,如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機主要針對大麵積五金工件鍍裝飾膜(mó)或者功能膜,適(shì)合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼(gāng)門等工件表麵鍍膜。

產品(pǐn)特點

1)、此類設備真(zhēn)空室最大尺寸能實現 φ5000X10000MM(長)
2)、是在大型板材、管材(cái)上鍍製(zhì)各類裝飾膜層及功能膜膜層的適(shì)合設備。

技術參數表

HLB係列大型板材(cái)管材真空鍍膜機     
型號(hào)HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空機組雙KT800擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散(sàn)泵機組*2套雙KT1000擴(kuò)散泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專用(yòng)多(duō)弧鍍膜電源+多功能孿生(shēng)磁環(huán)弧靶(bǎ)+柱形弧(hú)靶(可選配)
輔助鍍膜係統低溫離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統)
充氣係統質量流量計
控製方式手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極(jí)限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備注(zhù)以(yǐ)上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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