SF係(xì)列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25205
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是(shì)將膜材放入(rù)水(shuǐ)冷銅坩堝中,直接利用(yòng)電子束加熱,使膜材中(zhōng)的原(yuán)子或分子從表(biǎo)麵汽化逸出(chū)後入射到基片表麵凝結成膜。電(diàn)子束(shù)蒸發比一(yī)般(bān)電阻加(jiā)熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發(fā)速度快,製成的薄膜純度高。

應(yīng)用(yòng)範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增(zēng)透(tòu)膜(mó)、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能(néng)滿足(zú)如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多(duō)種(zhǒng)膜係,對金屬、氧化物、化(huà)合物及其他高熔點膜材皆可蒸(zhēng)鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實(shí)現對整個工作過程的自動控製,工作效率(lǜ)和產品質量重複性一致性優良.
2)適用(yòng)於光學領域(yù)行業,大規模工業生產(chǎn)要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT500擴散(sàn)泵機組KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組雙KT630擴(kuò)散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子(zǐ)源
充氣係統壓強控製儀(yí)
控製(zhì)方式手動或半自動
膜(mó)厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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