工作原理
應(yīng)用範(fàn)圍
產品特點
技術參數表
DN係列多功能真空鍍膜機 | |||||||
型號(hào) | DN-600 | DN-800 | DN-1000 | DN-1200 | DN-1400 | DN-1500 | DN-1600 |
真(zhēn)空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組(zǔ) | 雙KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT800擴散泵機組(zǔ) | 雙(shuāng)KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 |
鍍膜係(xì)統 | 直流(liú)電源或(huò)中(zhōng)頻電源+多弧電源+E型(xíng)電子槍(qiāng)+電阻蒸發舟+霍爾離子源+條形離子(zǐ)源(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低溫離子(zǐ)輔助源(除工具鍍外無需(xū)加(jiā)溫係(xì)統) | ||||||
充氣係統(tǒng) | 質量(liàng)流量計 | ||||||
控製係統(tǒng) | 工業電腦自動控製(工控機(jī))、PYDNB3000膜層在線(xiàn)編製(zhì)係統 | ||||||
控製方(fāng)式 | 手動、半自動、全自動 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備參數僅做(zuò)參考,具體(tǐ)均按(àn)客(kè)戶實(shí)際工藝要求設計訂做(可(kě)選配進口(kǒu)分子泵機組(zǔ)) |