SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25206
SF係列(liè)電子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸(zhēng)發是將膜材放入水冷銅坩堝中(zhōng),直接利用電(diàn)子束加熱,使膜材中的原子或分子(zǐ)從(cóng)表麵汽化逸出後入射到基片(piàn)表麵凝(níng)結成膜(mó)。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率(lǜ)高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透(tòu)膜、反射(shè)膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介(jiè)質膜、高反膜、彩色反射膜等各種(zhǒng)膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽(qì)車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷(lěng)光杯(bēi)等產品的鍍膜要求。配置不同的(de)蒸發(fā)源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬(shǔ)、氧化物、化合物及其他高(gāo)熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備(bèi)有(yǒu)石英晶體(tǐ)膜厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實(shí)現對整個工作過程的自動控(kòng)製,工作效率和產(chǎn)品(pǐn)質量重複性一致(zhì)性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產要求的廠商使(shǐ)用。

技術(shù)參數表

SF係列電子束蒸發光學(xué)真空鍍膜(mó)機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室(shì)尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴(kuò)散泵機組KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵(bèng)機(jī)組(zǔ)雙KT630擴散泵機(jī)組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用(yòng)電源或霍爾離子(zǐ)源
充氣(qì)係統壓(yā)強(qiáng)控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統(tǒng)
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考,具(jù)體均按(àn)客戶實際工藝要求設計訂做
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