真空鍍膜機是(shì)目前製作真空條件應用(yòng)最(zuì)為廣泛的真(zhēn)空設備,一(yī)般用真空室、真(zhēn)空機組、電氣控製櫃三大部分組成,排氣係統采(cǎi)用擴散泵+機(jī)械泵(bèng)+羅(luó)茨泵+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介(jiè)紹真空鍍膜機的(de)各部分組成及其工作原理:
1、真空主體:真(zhēn)空腔根據加工(gōng)產品要求的各異,真空(kōng)腔的大小也不一樣,目前應用最多的有(yǒu)直(zhí)徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅(jiān)實等,真(zhēn)空(kōng)腔各(gè)部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
2、輔助抽氣係(xì)統:排氣係(xì)統為鍍(dù)膜機真空係統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨(cí)泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣係統(tǒng)采用"擴散(sàn)泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷(lěng)阱+polycold"組成。排氣(qì)流程為:機械泵先(xiān)將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空(kōng)狀態,為擴散泵後(hòu)繼抽真空(kōng)提供前提(tí),之後當擴散泵抽真空腔(qiāng)的時候,機械(xiè)泵又配合(hé)油擴散泵組成(chéng)串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
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