1、真空鍍膜設備每完（wán）成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接（jiē）接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍上去的（de）膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜層脫落（luò），並釋放出氫（qīng）氣。再用（yòng）清水清洗真（zhēn）空室和用布沾汽（qì）油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片泵)連（lián）續工作一個月(雨季減半)，需更換新（xīn）油。方法是:擰開放油螺栓，放掉舊油，再將泵（bèng）啟（qǐ）動數（shù）秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺（luó）栓，加入新油至（zhì）額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上，換油時應將油（yóu）蓋打開，用布擦（cā）幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使（shǐ）用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸（xiè）下電爐盤，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一（yī）遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清（qīng）水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹以後，裝好（hǎo）泵膽，加入新（xīn）擴散泵油，並裝回機體（tǐ），接好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持（chí）泵，關好大（dà）門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空度是否（fǒu）達（dá）到（dào）6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯（lián）接處是否裝密封膠圈，或壓壞（huài）密封圈。排除（chú）漏（lòu）氣隱患後方可加熱，否則（zé）擴散泵油會燒環，無法（fǎ）進入工作狀態。

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