電阻真空計(又叫(jiào)皮喇尼真空(kōng)計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓強成正比的(de)方式工作的(de)。上麵開口處與(yǔ)被測真空係(xì)統相連接,熱絲采用電阻溫(wēn)度係數(shù)大的(de)金屬絲做成,兩支支架引線與測量線路連接。當壓強降低的時候,由於氣體熱(rè)傳導散失的熱量減小(xiǎo),因此當熱絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電阻就增大,用測量熱絲電阻值的大小來(lái)間接測量壓強。
磁控放電真空計: 工作原理:在放電開始時,由於空間(jiān)遊離電子向陽極運動時,在正(zhèng)交電磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子不一定第一次就碰上陽(yáng)極,而是穿(chuān)過陽極,然後受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多次才可能打(dǎ)上陽(yáng)極。由於電子路程大大加長,故碰撞及電離的分子數增加,使得(dé)在較低壓強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持放(fàng)電(也稱潘寧放電)。
目前比較多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻璃管中封入(rù)兩個金屬電極(jí),在其上加上數千伏的直流高電壓,在一(yī)定的(de)壓強範圍內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放電顏色來判定其(qí)真空度 。 目前為止此種真空計(jì)已經很少使用,因為其(qí)誤差大,容(róng)易損壞,而且壽命不長。
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