磁控濺射膜常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高（gāo）到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低（dī）於（yú） 99．9％。應換用純度（dù）為 99．99％的氬氣。

(3)充氣（qì）係統漏氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現象。

(4)底漆未充分固（gù）化。應適當延長底漆的（de）固化時間。

(5)鍍件放氣量（liàng）太大。應進行幹燥和封孔處理 膜層表麵光澤暗淡

(1)底漆（qī）固（gù）化不良或變質。應適當延長底漆的固化時（shí）間或更換底漆。

(2)濺射時間（jiān）太長。應（yīng）適當縮短。

(3)濺（jiàn）射成膜速度太快。應適當降低濺射電流或電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴塗得不均勻。應改（gǎi）進底漆的施（shī）塗方法。

(2)膜層太薄。應（yīng）適當提高濺射速度或延長濺射時間。

(3)夾具設計不合理。應改進夾具設計。

(4)鍍件（jiàn）的（de）幾何形狀太複雜。應適當提高（gāo）鍍（dù）件的（de）旋轉速度

膜層發皺（zhòu）、龜裂

(1)底漆（qī）噴塗得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的（de）粘（zhān）度太高。應適當降低。

(3)蒸發（fā）速度太快。應適當減（jiǎn）慢（màn）。

(4)膜層（céng）太厚。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件溫度太高。應適當縮短對（duì）鍍件的（de）加溫時間

膜（mó）層（céng）表麵有水跡、指（zhǐ）紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未充分（fèn）幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液。應加強文明生產，操作者應帶口罩。

(3)塗底漆後手接（jiē）觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴禁用（yòng）手接觸鍍件表麵。

(4)塗料中有顆（kē）粒物（wù）。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電（diàn）除塵失效或（huò）噴（pēn）塗和固化環境中有顆粒灰塵。應更換除塵器，並保持工（gōng）作環境的（de）清（qīng）潔

膜層附著（zhe）力（lì）不良

(1)鍍件除油脫脂不徹底。應加強鍍前處理。

(2)真空室內（nèi）不清潔。應清洗真空室。值得注意的是，在裝（zhuāng）靶和拆靶的過程中，嚴禁用手 或不幹淨的物體與磁控（kòng）源接觸，以保證磁控源具有（yǒu）較（jiào）高的清潔度，這（zhè）是提高膜層結合力（lì）的 要措施之一。

(3)夾具不清潔。應清洗（xǐ）夾具。

(4)底塗料選（xuǎn）用不當。應更換塗料。

(5)濺射工藝條件控製不當。應改進濺射工藝條（tiáo）件