為盡量減小
真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來的影響,我們將導軌、絲杆等傳動件(jiàn)固定於一個剛性的中間層上,其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、麵活(huó)性支撐,以吸(xī)收(shōu)和隔(gé)離形變(biàn),並設置形變補償調節機構,在係統抽真空前(qián),參照有限元(yuán)計算提供的理論數據預(yù)設適當的補償量,以使其在真空狀態(tài)下達到平衡。而這樣的(de)真(zhēn)空設計也使得現在的真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行,防(fáng)止外界因素的影響。
而為了驗證有限元計算的結果,對真空室的形變和補償(cháng)進(jìn)行了測試(shì)。首先將四隻千分表定(dìng)位在工(gōng)作台安裝(zhuāng)基點的真空壁外側,當(dāng)真空室由大氣抽到(dào)真空(kōng)時,記錄各千分表的變化量,經歸(guī)一化處理後為用激光自準直儀調整(zhěng)形變補償。由水平調整的自(zì)準直(zhí)儀發出一束激光(guāng)穿過真空室的玻璃窗照射固定於工作(zuò)台上的反射鏡,在大氣環境下調整形變補償(cháng)調(diào)節機構,使(shǐ)反射光束進入自準直儀接收視場,記錄兩維(wéi)角度偏差。這些數(shù)據之後需(xū)要對(duì)其進行分析處理,得到測試(shì)結果。