1)、固定筒3 圓筒形狀、大直徑、厚壁結構的設(shè)計和周向對稱的固定方式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可阻止高(gāo)溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件汙(wū)染,保證撥動盤15 轉動的靈活(huó)性。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸(zhóu)承座安裝的密封性和垂直(zhí)度;增大軸1 的直徑尺寸,加(jiā)大軸(zhóu)承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和剛度,保證轉動過程中軸(zhóu)1 的剛度和撥(bō)動盤(pán)15的旋轉靈活性、位置重複的一致性。
3)、裝載換位機構,通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構在平麵方向的有效麵(miàn)積增大(dà),可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄膜質量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單元(yuán),比較片采(cǎi)用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一(yī)次(cì)可放置50~100 片(piàn)比較片,解決
鍍膜機鍍製多層精密光學薄(báo)膜(mó),比較片數量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。
4)、定位盤6 與(yǔ)槽型光藕17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個(gè)均分的120°狹縫,控製電機轉(zhuǎn)動停止。軸(zhóu)1 旋轉定位重複的一致性得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封(fēng)饋入機構引入威爾遜密封機構5,既保證電機9 通過(guò)齒輪齧合帶動軸(zhóu)1 的靈活轉動,又保證真空室對外部的(de)密封作用。優化設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特(tè)點:(1)結構簡單(dān),強度高,可靠性好;(2)比較片(piàn)裝載數量大,生產效率(lǜ)提高(gāo),可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精(jīng)度,降低對硬件係統的(de)要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保養(yǎng)費(fèi)用低。
通過對真空鍍膜機多片式比(bǐ)較片裝置(zhì)的優化設計,保證了比較(jiào)片機構撥片(piàn)轉動的靈活性和重複的(de)一致性(xìng),解決了比較片有效(xiào)麵積小,光路調整不方便,光信號信噪比差的問題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可以(yǐ)使現有的真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量(liàng)大大提高,並且30 層以上的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍(dù)膜行業進行推廣和實施,